Zwei Türme als Reinraumgarantie – MKFV0415, das Absaugsystem für die Laservereinzelungsanlage
Der Reinraum: in einer kontrollierten Umgebung sorgen optimale Luftbedingungen für perfekte Produktionsergebnisse. Werden Wafer in Reinräumen der Chip-Produktion mit Lasern geschnitten, müssen aus diesem Grund die anfallenden Stäube gleichzeitig, sicher und vollständig abgesaugt werden.
Ein Fall für Fuchs Umwelttechnik.
Ausgangssituation beim Kunden ist eine Doppelzellenfertigung in zwei unabhängigen Stationen. Dabei müssen im Inneren die Schneidprozesse komplett abgesaugt werden. Für diese Direktabsaugung der Stäube konzipierten die Ingenieure von Fuchs Umwelttechnik die beiden Hochdruck-Absaug- und Filtergeräte MKFV0415, jeweils mit Seitenkanalverdichtern in verstärkter Bauweise. Fallen größere Siliziumpartikel an, gehen diese über Edelstahl-Zyklonen automatisch in die Vorabscheidung.
Zusätzlich reinigt die komplette Raumluft ein drittes Absaug- und Filtergerät vom Typ IF1300.1.
Die drei Absaug- und Filtergeräte passen durch ihren modularen Aufbau platzsparend in den Grauraum. Bei Bedarf lassen sich die abgesaugten Emissionen kontaminationsfrei entnehmen.
Als digitales Sicherheitsfeature ist jedes System mit Profibus an SPS angebunden und wird rund um die Uhr überwacht, denn alle Geräte können problemlos im 3-Schicht-Betrieb eingesetzt werden.
Zwei MKFV0415 und ein IF1300.1 – wieder eine durchdachte Komplettlösung von Fuchs Umwelttechnik.